精密技術相對于精密加工，一般精密加工精度為1~0.1μm，表面粗糙度為0.1~0.025μm;超精密加工精度可在0.1μm以內(nèi)，表面粗糙度可在0.025μm以內(nèi)。隨著技術的發(fā)展，超精密加工已進入納米級。

　　精密加工技術可分為超精密車削技術、超精密銑削技術、超精密磨削技術、表面鏡面拋光技術和超精密特種加工技術，以及現(xiàn)階段相應的加工方法的精度范圍。

　　當某些典型部件進行超精密加工時，有時會單獨提出該部件的名稱。作為這類部件超精密加工的一類技術總稱，如大型光學非球形部件超精密加工技術，涵蓋了超精密加工技術領域的許多技術技術。

　　從20世紀50年代到80年代，超精密加工主要用于航空航天、天文學等領域，實現(xiàn)球面的制造。在此期間，美國率先開展了以單點金剛石切割為代表的超精密加工技術。

　　此外，設備精度逐漸接近納米水平。加工工件的范圍越來越廣。隨著數(shù)控技術的發(fā)展，超精密五軸銑削和飛行切割技術可以實現(xiàn)對稱非球面等復雜零件的制造。

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